因為三坐標(biāo)測量儀在對空氣進(jìn)行壓縮的時候，也會將空氣里面的一些比較小的水分子和油分子進(jìn)行壓縮成水或者是油，這樣的話，三坐標(biāo)測量儀自己在進(jìn)行工作的時候也是會需要一定的潤滑油對相關(guān)的機構(gòu)進(jìn)行潤滑，當(dāng)然也會使得部分的潤滑油進(jìn)入到壓縮空氣里面。如果在進(jìn)行工作的時候，三坐標(biāo)測量儀上附著著水或者是油的話，那么這個時候是會導(dǎo)致導(dǎo)軌的直線度發(fā)生一定的變化。如果三坐標(biāo)測量儀不工作了，那么這個時候，管道中的油滴就有可能是會被堵塞，這個時候氣浮塊也不能夠正常的進(jìn)行起伏，氣浮塊與導(dǎo)軌會很容易產(chǎn)生摩擦，也會損壞三坐標(biāo)測量儀，嚴(yán)重也會使得器官出現(xiàn)老化等現(xiàn)象。 

三坐標(biāo)測量儀是其最主要的基準(zhǔn)，三坐標(biāo)進(jìn)行改造的時候，主要就是需要對其進(jìn)行相應(yīng)的保養(yǎng)，這樣才能夠保證其正常的進(jìn)行工作。三坐標(biāo)測量儀在進(jìn)行使用的時候，跟其他的一些測針、測頭使用肯定是不一樣的。

每天進(jìn)行使用三坐標(biāo)測量儀之前一定要做好相應(yīng)的檢查，主要是管道和過濾器，一般在三個月的時候，就需要對三坐標(biāo)測量儀進(jìn)行清洗，如果空氣質(zhì)量比較差的地方，這個時候，三坐標(biāo)測量儀的濾芯在過濾油和誰的時候也會很容易被堵塞，要是時間比較長的話，是會導(dǎo)致三坐標(biāo)測量儀工作氣壓降低的，會影響其正常的工作，所以濾芯一定的清洗干凈才行。還有就是需要每天都要擦拭油污和灰塵，這樣的話，才能夠很好的保證三坐標(biāo)測量儀氣浮導(dǎo)軌進(jìn)行正常工作。