技術前沿

掃描電鏡的優點及應用范圍

時間：2020-04-15 作者：普天同創閱讀：14923

掃描電鏡（SEM）是介于透射電鏡和光學顯微鏡之間的一種微觀形貌觀察手段，可直接利用樣品表面材料的物質性能進行微觀成像。

  掃描電鏡的優點：
  ①. 有較高的放大倍數，20-200000倍之間連續可調；
  ②. 有很大的景深，視野大，成像富有立體感，可直接觀察各種試樣凹凸不平表面的細微結構；
  ③. 試樣制備簡單，目前的掃描電鏡都配有X射線能譜儀裝置，這樣可以同時進行顯微組織形貌的觀察和微區成分分析（即SEM-EDS），因此它是當今十分重要的科學研究儀器之一。

掃描電鏡的組成及原理：

  掃描電子顯微鏡由電子光學系統，信號收集及顯示系統，真空系統及電源系統組成。從原理上講就是利用聚焦得非常細的高能電子束在試樣上掃描，激發出各種物理信息。通過對這些信息的接受、放大和顯示成像，獲得測試試樣表面形貌的觀察。
  當一束極細的高能入射電子轟擊掃描樣品表面時，被激發的區域將產生二次電子、俄歇電子、特征x射線和連續譜X射線、背散射電子、透射電子，以及在可見、紫外、紅外光區域產生的電磁輻射。同時可產生電子-空穴對、晶格振動（聲子)、電子振蕩（等離子體）。

  掃描電鏡的應用范圍：
  1. 生物：種子、花粉、細菌……
  2. 醫學：血球、病毒……
  3. 動物：大腸、絨毛、細胞、纖維……
  4. 材料：陶瓷、高分子、粉末、金屬、金屬夾雜物、環氧樹脂……
  5. 化學、物理、地質、冶金、礦物、污泥（桿菌）、機械、電機及導電性樣品，如半導體(IC、線寬量測、斷面、結構觀察……）電子材料等。
  6. 新型陶瓷材料分析

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